70年代以前国内外气调设施的制氮机多选用催化燃烧式机型。我国早由山西煤炭化学研究所研制成功。70年代末开发的焦炭分子筛制氮机。它的基本原理是用表面积极大的焦炭分子筛将O2吸附并排出高浓度的N2。80年代，随着科学技术的发展和工业加工水平的提高，又出现了新一代制氮设备，99.999%纯度制氮机哪家好，即膜分离制氮机。这是迄今为止被认为是制氮设备中进的一种机型。99.999%纯度制氮机


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原理流程

   原料空气经空压机压缩后进入后级空气储罐，99.999%纯度制氮机，大部分油、液态水、灰尘附着于容器壁后流到罐底并定期从排污阀排出，一部分随气流进入到压缩空气净化系统。

   空气净化系统由冷干机及三支精度不同的过滤器及一支除油器组成，通过冷冻除湿以及过滤器由粗到精地将压缩空气中的液态水、油、及尘埃过滤干净，

使压缩空气压力降到2～10℃，含油量降至0.001PPm，尘埃过滤到0.01μm，保证了进入PSA制氮机原料气的洁净。

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